土壤熱解吸設備通過高溫解吸出的有機污染物以氣態方式揮發出來，可以在土壤熱解吸設備后面添加除塵設備或者活性炭吸附裝置來處理尾氣。尾氣處理是污染場地修復過程中的重要步驟。熱解吸后尾氣中除了含有高濃度的氣化污染物，還含有大量的粉塵和水蒸氣。粉塵的濃度過高，不符合尾氣排放標準，所以要進行除塵處理。 土壤熱脫附后尾氣處理可以采用旋風除塵和布袋除塵，以達到排放標準，而氣化污染物則需要進行活性炭裝置處理凈化。由于尾氣溫度過高需要使用噴淋塔對尾氣進行降溫，由于尾氣中水分過高，影響布袋除塵效果和活性炭使用壽命，所以也要對尾氣進行氣水分離處理。
 
土壤熱解析設備排放的尾氣進入旋風除塵器，經過兩道旋風除塵后，可以有效的降低粉塵80然后進入噴淋塔，對尾氣進行水淋，以降低尾氣溫度，并帶有一定的除霧除塵效果。尾氣從噴淋塔中出來后進入脫水除霧器（氣水分離器），經一步的降低尾氣中的水分，以達到布袋除塵的水氣濃度要求。然后尾氣進入脈沖布袋除塵器，含塵氣體從袋式除塵器入口進入后，由導流管進入各單元室，在導流裝置的作用下，大顆粒粉塵分離后直接落入灰斗，其余粉塵隨氣流均勻進入各倉室過濾區中的濾袋，當含塵氣體穿過濾袋時，粉塵即被吸附在濾袋上，而被凈化的氣體從濾袋內排除。之后進入活性炭吸附裝置，隨著活性炭的飽和度的增加，吸附率逐漸降低，直至失效。最后尾氣有引風機送入煙囪，實行高空排放。